顕微分光反射率顕微鏡 LVmicro-RUR

これまでに無い反射率計測を実現致します!
微小サイズにおける分光計測はもちろんのこと、オートフォーカス機能も標準搭載。
凹凸表面についても、弊社独自の技術により、確実に頂点(面頂)を計測することができます。(現在、特許申請中)
弊社では2μmからの微小領域において高精度、高安定な顕微分光計測技術をご提案いたします。
レンズ関連の反射率測定に興味のある方は是非、一度お問い合わせくださいませ。

<特徴>
 ※LVmicro-RUR は15倍反射対物レンズ使用を中心としております。
 ・オートフォーカス標準搭載
 ・XY自動ステージ(50mm標準)
 ・Z自動ステージ(100mm標準)
 ・パレット複数試料計測対応
 ・Θチルト傾斜計測対応(オプション)
 ・分光ユニット交換で以下の波長域に対応
  250nm〜900nm,380〜1050nm
  400nm〜1100nm,900nm〜1650nm
 ・レンズやフィルタの透過率計測に対応(オプション)
  積分球使用のため試料依存なしで計測
 ・計測サイズ φ30μm(反射計測)
   φ3mm(積分球使用透過計測)

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■オプション 
以下のオプション品を設置することも可能です。必要に応じてご相談ください。
■積分球ユニット
■マニュアル傾斜ステージ
■自動傾斜ステージ





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